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       等離子滲氮是一種十分有效的生成界面膜層的熱處理方式。輝光放電等離子體中氮擴散進入膜層中，從而增強工件表面硬度。工藝過程中待處理工件為陰極，通入氫氣及氮氣的混合氣體，在數(shù)百伏特及50~500Pa壓力下對陽極施偏壓。陰極勢降中，由于基體表面溫度高達450℃以上，氮離子獲得加速并撞擊基體表面從而氮元素滲入工具內(nèi)部。通過這種方式可形成含鐵或鉻、鉬、鋁及鎂等的氮化物化合層及擴散層。其表面硬度可達1000HV，甚至更高。通常工件表面主要是被稱作為白層的鐵氮化合物。氮含量可以根據(jù)應(yīng)用需要進行調(diào)節(jié)，甚至完全抑制以便為后續(xù)的硬質(zhì)材料涂層創(chuàng)造更好的表面條件。生成的擴散層從工件表面至核心幾十毫米的硬度降低非常平緩。
      在工業(yè)化沉積硬質(zhì)膜方面，電弧蒸發(fā)工藝因其簡單便捷而占據(jù)著非常重要的地位。工藝過程中，鍍層金屬因為所產(chǎn)生的電弧在表面邊界快速移動而獲得蒸發(fā)、電離，在工件底盤通負(fù)偏壓情況下,金屬離子加速撞擊到工件上。電弧蒸發(fā)工藝單純采用物理方法使金屬蒸發(fā)，而不包括任何中介揮發(fā)性化合物，因此是一種典型的PVD（物理氣相沉積）工藝。通過添加含氮或含碳?xì)怏w，可形成氮化物和碳化物金屬薄膜。薄膜具有非常高的微硬度、低摩擦性能和很好的化學(xué)惰性。通常當(dāng)工藝溫度在180℃以上時,可以獲得高質(zhì)量的鍍層。因此，PVD工藝也可以適用于滲碳鋼。氮化和涂層技術(shù)的特點使對總體長度達4m的工件進行組合處理成為可能。同時，還可組合處理直徑1.5m、長度2m的大組件。

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